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(来源:上观新闻)
同时,3💟D NAN🚣♀️🌛D 堆叠层数不🈺🌱断增加,每层薄🦊🇲🇲膜厚度要求严🎶苛,ALD🧚♀️ 与 CV🆔♌D 协🎥同工艺成为主流🇧🇩🍽,这都对薄膜🦵沉积设备提🕵出了更高🧝♂️🦸♀️要求🇮🇳。
项目从启💋动到规模🇸🇹化投产仅用时4个👇↗月,产🛤🇬🇾线接入在一🎰🔄周内完成,效率大🇸🇿🎸幅优于🕵5️⃣传统自动化方案👨🍳🙌。整个过🇧🇾程在无需人类🛵插手的🏘6️⃣情况下,在🚍两大核心基准测试😺上推进了近🥎50次实验🦛。
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